MEMS技术的核心突破在于微加工集成。传感器单元、模拟/数字信号处理、补偿及通信单元均封装在同一微型芯片内，可直接输出标准化数字信号或驱动指令，彻底摒弃了传统传感器依赖外部复杂调理电路和长电缆的模式。