MEMS传感器采用微电子和微机械加工技术制造,在水利工程中常用于( )的测量。
水位与流量
压力、倾角、加速度及测斜
混凝土强度与碳化深度
水质pH值与溶解氧
MEMS传感器在水利工程中的应用主要包括压力传感器、倾角计、加速度计和测斜仪等。
分享到: