X射线衍射仪专门用于涂层的物相定性定量分析、晶胞参数计算和固溶体分析。光学显微镜和扫描电子显微镜主要用于表面形貌、相与元素分布及孔隙观察，激光共聚焦显微镜主要用于三维形貌、粗糙度及几何纹理测量。