根据文本内容，水轮机调速器先后经历了三个阶段的发展：(1) 机械式液压调速器（20 世纪初~50 年代）；(2) 电液式调速器（20 世纪 50 年代～80 年代）；(3) 微机调速器（20 世纪 80 年代至今）。