X射线衍射法基于X射线衍射理论，波长λ、衍射晶面间距d和衍射角θ之间遵从布拉格定律，公式为2d sinθ = nλ（n为整数）。该定律将宏观可测量的衍射角与微观晶面间距建立确定关系，从而通过晶格应变计算残余应力。