冰压力监测中常用的压阻式压力传感器,主要利用( )材料的压阻效应和集成电路技术制成,受力后电阻率发生变化从而输出电信号。
多晶硅
单晶硅
非晶硅
石英晶体
压阻式压力传感器利用单晶硅材料的压阻效应制成。单晶硅材料在受到力的作用后,其电阻率会发生变化,通过测量电路即可得到正比于力变化的电信号输出,是冰压力监测的常用设备。
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