水准仪按每千米往返平均高差中误差划分为不同系列。S05级水准仪的每千米往返测高差中数的偶然中误差≤0.5mm，专门用于一、二等高精度水准测量；S1级≤1mm主要用于二、三等；S3级≤3mm主要用于三、四等。