光学显微镜和扫描电子显微镜可直接观察涂层的表面形貌、相与元素分布、致密度、裂纹及孔隙等微观结构信息。激光共聚焦显微镜侧重于三维形貌与粗糙度测量，超声波探伤仪主要用于内部缺陷检测，不用于微观结构形貌分析。