目前，以伺服加速度计式测斜仪精度为最高。在孔斜不超过一定范围时，其综合精度为±7.5mm/50m。这意味着观测时，在没有丝毫位移情况下，对于 50m 测孔，累计到孔口的最大误差可达±7.5mm。